
沉积速率对ZnO薄膜生长过程和微结构影响的分子反应力场方法研究*
刘永利;刘欢;祁阳
沉积速率对ZnO薄膜生长过程和微结构影响的分子反应力场方法研究*
Reactive Force Field Study of the Effect of Subtract Temperature on the ZnO Film Growth Process and Microstructure
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