超薄α-Ta(N)/TaN双层扩散阻挡层的微观结构与热稳定性

功能材料 ›› 2013, Vol. 44 ›› Issue (02) : 202-205.

研究·开发

{{article.zuoZhe_CN}}

作者信息 +

Microstructure and Thermal Stability of an Ultrathin α-Ta(N)/TaN Bi-layer Diffusion Barrier

{{article.zuoZhe_EN}}

Author information +

History +

本文亮点

HeighLight

摘要

Abstract

关键词

Key words

引用本文

EndNote

Ris (Procite)

Bibtex

导出引用

{{article.zuoZheCn_L}}. {{article.title_cn}}. {{journal.qiKanMingCheng_CN}}. 2013, 44(02): 202-205

{{article.zuoZheEn_L}}. {{article.title_en}}. Journal of Functional Materials. 2013, 44(02): 202-205

参考文献

原文顺序 | 文献年度倒序 | 文中引用次数倒序

参考文献

基金

版权

PDF(4651 KB)

Accesses

Citation

Detail

段落导航

Received	Revised	Published
2012-07-10	2012-10-13	2013-01-30
Issue Date
2013-01-30

选择文件类型/文献管理软件名称

选择包含的内容

本文亮点

HeighLight

摘要

Abstract

关键词

Key words

引用本文

{{custom_sec.title}}

{{custom_sec.title}}

参考文献

参考文献

{{custom_fnGroup.title_cn}}

脚注

{{custom_ack.title_cn}}

基金

版权