电子束蒸发沉积重掺硅薄膜及其在低辐射玻璃上的应用

功能材料 ›› 2012, Vol. 43 ›› Issue (S1) : 12-0.

研究与开发

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Heavily doped Si film prepared by electron beam evaporation and its application in Low-e glass

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Received	Revised	Published
2012-05-14	2012-06-14	2012-06-29
Issue Date
2012-06-29

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