亚波长分辨光刻介质特性研究

功能材料 ›› 2012, Vol. 43 ›› Issue (09) : 1177-1180.

研究与开发

亚波长分辨光刻介质特性研究

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Study of Characteristics of Photolithography medium with Sub-wavelength Resolution

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Received	Revised	Published
2012-01-04	2012-02-11	2012-05-15
Issue Date
2012-05-15

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