磁控溅射技术制备硅量子点多层膜及微观结构表征

功能材料 ›› 2012, Vol. 43 ›› Issue (06) : 732-735.

研究与开发

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The microstructure of Si quantum dots multilayers deposited by magnetron sputtering

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Received	Revised	Published
2011-09-19	2011-11-03	2012-03-30
Issue Date
2012-03-30

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