多晶硅薄膜的铝诱导晶化法制备及其晶粒的择优取向特性

功能材料 ›› 2012, Vol. 43 ›› Issue (02) : 231-234.

研究与开发

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Aluminum-induced crystallization and Grain preferred orientation characteristics of polysilicon thin flims

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Received	Revised	Published
2011-07-01	2011-07-20	2012-01-30
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2012-01-30

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