SU-8胶制备三维微电极结构研究

功能材料 ›› 2011, Vol. 42 ›› Issue (S3) : 681-684.

研究与开发

SU-8胶制备三维微电极结构研究

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The study of Fabrication of three-dimensional micro-electrode structure for MEMS super capacitor by SU-8 photoresist

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Received	Revised	Published
2010-12-01	2011-04-18	2011-08-20
Issue Date
2011-08-20

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