铸造多晶硅的制备与研究

功能材料 ›› 2011, Vol. 42 ›› Issue (S3) : 674-676.

研究与开发

铸造多晶硅的制备与研究

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Preparation and Research of Casting Polysilicon

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Received	Revised	Published
2010-12-10	2011-03-07	2011-08-20
Issue Date
2011-08-20

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