紫外辐照对超低介电常数SiCOH薄膜组成与机械性能的影响
付爽;胡龙龙;孟庆伟
紫外辐照对超低介电常数SiCOH薄膜组成与机械性能的影响
{{custom_ref.label}} |
{{custom_citation.content}}
{{custom_citation.annotation}}
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