多晶硅真空电磁感应熔炼除磷机制的研究

功能材料 ›› 2011, Vol. 42 ›› Issue (09) : 1551-1554.

研究与开发

多晶硅真空电磁感应熔炼除磷机制的研究

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Research on the Removal Mechanism of Phosphorus from Polysilicon by Vacuum Induction Melting

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Received	Revised	Published
2010-11-15	2011-03-07	2011-09-20
Issue Date
2011-09-20

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