高K材料Ta2O5结构与电学性质的研究

功能材料 ›› 2011, Vol. 42 ›› Issue (07) : 1335-1338.

研究与开发

高K材料Ta2O5结构与电学性质的研究

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Study on structure and electrical properties of High-k Ta2O5 gate dielectric

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Received	Revised	Published
2010-11-19	2011-01-12	2011-07-25
Issue Date
2011-07-25

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