退火对硼掺杂微晶硅薄膜性能的影响

功能材料 ›› 2011, Vol. 42 ›› Issue (06) : 44-0.

研究与开发

退火对硼掺杂微晶硅薄膜性能的影响

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Effect of annealing on the properties of Boron doped μc-Si by RF-PECVD

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Received	Revised	Published
2010-09-02	2010-10-25	2011-06-25
Issue Date
2011-06-25

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