靶基距对射频磁控溅射法制备氟碳膜的结构与性能影响

功能材料 ›› 2011, Vol. 42 ›› Issue (05) : 30-0.

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The study on structure and properties of fluorocarbon films prepared by RF magnetron sputtering at varying target-substrate distance

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Received	Revised	Published
2010-09-17	2010-10-27	2011-05-25
Issue Date
2011-05-25

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