碲锌镉晶片机械研磨和机械抛光工艺研究

功能材料 ›› 2011, Vol. 42 ›› Issue (05) : 2-0.

研究与开发

碲锌镉晶片机械研磨和机械抛光工艺研究

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Investigation on the mechanical Lapping and polishing of CdZnTe Wafers

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Received	Revised	Published
2010-09-13	2010-09-28	2011-05-25
Issue Date
2011-05-25

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