不同沉积温度下V掺杂的TiN薄膜的结构和性能

功能材料 ›› 2011, Vol. 42 ›› Issue (04) : 20-0.

研究与开发

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The structure and properties of V doped TiN films prepared at various temperatures

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Received	Revised	Published
2010-07-26	2010-09-01	2011-04-25
Issue Date
2011-04-25

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