多组分掺杂ZnO陶瓷薄膜的射频磁控溅射法制备及表征

多组分掺杂ZnO陶瓷薄膜的射频磁控溅射法制备及表征

孙真真

功能材料 ›› 2011, Vol. 42 ›› Issue (03) : 31-0.

研究与开发

多组分掺杂ZnO陶瓷薄膜的射频磁控溅射法制备及表征

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