氢稀释对纳米晶硅薄膜微结构的影响

功能材料 ›› 2011, Vol. 42 ›› Issue (03) : 21-0.

研究与开发

氢稀释对纳米晶硅薄膜微结构的影响

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Effect of hydrogen dilution on microstructure of nanocrystalline silicon thin films

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Received	Revised	Published
2010-08-13	2010-09-28	2011-03-25
Issue Date
2011-03-25

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