中频磁控反应溅射制备C轴择优取向AlN薄膜

功能材料 ›› 2010, Vol. 41 ›› Issue (S3) : 24-0.

研究与开发

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Growth of high quality c-axis-oriented AlN thin films by middle frequency sputtering

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Received	Revised	Published
2010-06-21	2010-08-02	2010-12-25
Issue Date
2010-12-25

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