倾斜磁控溅射低温沉积ZnO：Al薄膜及其光电性能的研究

功能材料 ›› 2010, Vol. 41 ›› Issue (S2) : 46-0.

研究与开发

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Optical and Electrical Properties of ZnO: Al Films prepared by Tilted magnetron sputtering at low temperature

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Received	Revised	Published
2010-04-27	2010-05-28	2010-12-24
Issue Date
2010-12-24

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