有机薄膜晶体管钛/金电极的刻蚀工艺研究

功能材料 ›› 2010, Vol. 41 ›› Issue (S2) : 1-0.

研究与开发

有机薄膜晶体管钛/金电极的刻蚀工艺研究

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Investigation of the etching process of titanium/aurum electrodes of the organic thin film transistor

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Received	Revised	Published
2010-06-07	2010-07-24	2010-12-24
Issue Date
2010-12-24

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