溅射电流对磁控溅射CrNx薄膜结构与性能的影响

功能材料 ›› 2010, Vol. 41 ›› Issue (12) : 44-0.

研究与开发

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Effect of sputtering current on the structure and properties of CrNx films deposited by magnetron sputtering

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Received	Revised	Published
2010-04-27	2010-06-10	2010-12-25
Issue Date
2010-12-25

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