AlGaN外延薄膜材料的椭圆偏振光谱研究

功能材料 ›› 2010, Vol. 41 ›› Issue (10) : 28-0.

研究与开发

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A study of AlGaN Epitaxial Film by Spectroscopic Ellipsometry

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Received	Revised	Published
2010-01-25	2010-03-22	2010-10-25
Issue Date
2010-10-25

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