薄膜厚度和退火温度对纳米多晶硅薄膜特性影响

功能材料 ›› 2010, Vol. 41 ›› Issue (10) : 12-0.

研究与开发

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Effect of Thin Films Thickness and Annealing Temperature on Structure Properties of Nano Polysilicon Thin Films

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Received	Revised	Published
2010-02-09	2010-03-25	2010-10-25
Issue Date
2010-10-25

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