工作气压对室温溅射柔性AZO薄膜性能的影响

功能材料 ›› 2010, Vol. 41 ›› Issue (07) : 40-0.

研究与开发

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Effect of Working Pressure on Properties of Flexible AZO Thin Films Deposited by Room-Temperature Sputtering

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Received	Revised	Published
2009-11-16	2009-12-18	2010-07-25
Issue Date
2010-07-25

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