磁控溅射法在玻璃基片制备VO2薄膜的结构与性能

功能材料 ›› 2010, Vol. 41 ›› Issue (05) : 7-0.

研究与开发

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Microstructure and property of VO2 thin films deposited on glass substrate by R.F magnetron sputtering

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Received	Revised	Published
2009-09-15	2009-10-30	2010-05-25
Issue Date
2010-05-25

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