硅掺杂类金刚石薄膜微米尺度摩擦性能研究

功能材料 ›› 2010, Vol. 41 ›› Issue (05) : 27-0.

研究与开发

硅掺杂类金刚石薄膜微米尺度摩擦性能研究

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Analysis of friction properties of silicon-doped diamond-like carbon thin films in micro-meter scale

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Received	Revised	Published
2009-09-15	2009-11-09	2010-05-25
Issue Date
2010-05-25

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