常压化学气相沉积法制备氮化钛薄膜结构和节能性能研究

功能材料 ›› 2010, Vol. 41 ›› Issue (05) : 11-0.

研究与开发

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STRUCTURE AND ENERGY SAVING PERFORMANCE OF TIN FILMS PREPARED BY ATOMSPHERIC PRESSURE CHEMICAL VAPOR DEPOSITION

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Received	Revised	Published
1900-01-01	1900-01-01	2010-05-25
Issue Date
2010-05-25

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