基于磁控溅射沉积BZO/Ag/BZO透明电极的性能优化研究

doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2025.01.015

功能材料 ›› 2025, Vol. 56 ›› Issue (1) : 1120-1125. DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2025.01.015

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基于磁控溅射沉积BZO/Ag/BZO透明电极的性能优化研究

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Performance optimization study of BZO/Ag/BZO transparent electrodes based on magnetron sputtering deposition

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Received	Revised	Published
2024-06-03	2024-07-20	2025-01-30
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2025-02-13

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