铌酸锂单晶薄膜化学机械抛光及极化研究

doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2024.09.028

功能材料 ›› 2024, Vol. 55 ›› Issue (9) : 9222-9228. DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2024.09.028

工艺·技术

铌酸锂单晶薄膜化学机械抛光及极化研究

{{article.zuoZhe_CN}}

作者信息 +

Researchon LiNbO₃ single crystal thin films prepared using chemical mechanical polishing and its polarization

{{article.zuoZhe_EN}}

Author information +

History +

本文亮点

HeighLight

摘要

Abstract

关键词

Key words

引用本文

EndNote

Ris (Procite)

Bibtex

导出引用

{{article.zuoZheCn_L}}. {{article.title_cn}}. {{journal.qiKanMingCheng_CN}}. 2024, 55(9): 9222-9228 https://doi.org/10.3969/j.issn.1001-9731.2024.09.028

{{article.zuoZheEn_L}}. {{article.title_en}}. Journal of Functional Materials. 2024, 55(9): 9222-9228 https://doi.org/10.3969/j.issn.1001-9731.2024.09.028

参考文献

原文顺序 | 文献年度倒序 | 文中引用次数倒序

参考文献

基金

版权

PDF(11244 KB)

Accesses

Citation

Detail

段落导航

Received	Revised	Published
2024-06-03	2024-07-20	2024-09-30
Issue Date
2024-09-30

选择文件类型/文献管理软件名称

选择包含的内容

本文亮点

HeighLight

摘要

Abstract

关键词

Key words

引用本文

{{custom_sec.title}}

{{custom_sec.title}}

参考文献

参考文献

{{custom_fnGroup.title_cn}}

脚注

{{custom_ack.title_cn}}

基金

版权