钽掺杂FTO薄膜的制备及其光学电学性能的影响<sup>*</sup>

doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2024.07.023

功能材料 ›› 2024, Vol. 55 ›› Issue (7) : 7183-7190. DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2024.07.023

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钽掺杂FTO薄膜的制备及其光学电学性能的影响^*

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Preparation and the effect on optical-electrical properties of tantalum doped FTO film

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Received	Revised	Published
2023-12-23	2024-03-15	2024-07-30
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2024-08-12

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