溅射功率对Mo掺杂ZnO (MZO)透明导电薄膜的影响

doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2022.02.017

功能材料 ›› 2022, Vol. 53 ›› Issue (2) : 2114-2122. DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2022.02.017

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溅射功率对Mo掺杂ZnO (MZO)透明导电薄膜的影响

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Effect of sputtering power on Mo doped ZnO (MZO) transparent conductive thin films

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2021-08-20	2021-10-20	2022-02-28
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2022-02-28

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