磁控溅射制备大面积原子级平滑超低电阻率TiN薄膜电极

doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2021.07.003

功能材料 ›› 2021, Vol. 52 ›› Issue (7) : 7012-7017. DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2021.07.003

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磁控溅射制备大面积原子级平滑超低电阻率TiN薄膜电极

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Preparation of largescale smooth TiN thin film electrode with ultra low resistivity by magnetron sputtering

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2021-01-15	2021-04-28	2021-07-30
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2021-07-30

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