磁控溅射沉积制备SnSe薄膜及其热电性能研究

doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2021.04.003

功能材料 ›› 2021, Vol. 52 ›› Issue (4) : 4012-4017. DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2021.04.003

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磁控溅射沉积制备SnSe薄膜及其热电性能研究

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Investigation on thermoelectric properties of SnSe thin films deposited by magnetron sputtering

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2020-10-12	2021-02-03	2021-04-30
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2021-04-30

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