图案化In<sub>2</sub>O<sub>3</sub>:Sn薄膜制备及显影剂对图案制备的影响研究

doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2021.03.013

功能材料 ›› 2021, Vol. 52 ›› Issue (3) : 3092-3097. DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2021.03.013

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图案化In₂O₃:Sn薄膜制备及显影剂对图案制备的影响研究

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Preparation of patterned In₂O₃: Sn films and the effect of developer on the patterns

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2020-07-27	2020-09-29	2021-03-30
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2021-03-30

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