磁过滤阴极真空弧法制备类金刚石膜的场致发射特性研究

doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2020.08.033

功能材料 ›› 2020, Vol. 51 ›› Issue (8) : 8204-8209. DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2020.08.033

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磁过滤阴极真空弧法制备类金刚石膜的场致发射特性研究

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Field emission characteristics of diamond-like carbon films prepared by magnetic filter cathode vacuum arc deposition

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2020-02-23	2020-08-30
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2020-08-30

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