氢辅助脉冲直流溅射沉积的碳化硼薄膜的红外光学性质与机械性质的研究

doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2020.07.007

功能材料 ›› 2020, Vol. 51 ›› Issue (7) : 7039-7044. DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2020.07.007

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Infrared optical and mechanical properties of boron carbidethin films deposited by hydrogen-assisted pulsed DC sputtering

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2020-01-09	2020-07-30
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2020-07-30

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