以氢化钛为钛源制备高纯Ti<sub>2</sub>AlN粉体及刻蚀行为

doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2020.05.017

功能材料 ›› 2020, Vol. 51 ›› Issue (5) : 5103-5110. DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2020.05.017

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以氢化钛为钛源制备高纯Ti₂AlN粉体及刻蚀行为

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Preparation and etching behavior of highly pure Ti₂AlNpowders from TiH₂ as Ti source

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2019-12-09	2020-05-30
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2020-05-30

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