(AlCrTiZrNb)N/Si<sub>3</sub>N<sub>4</sub>纳米多层膜的微观结构和力学性能研究

doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2019.04.024

功能材料 ›› 2019, Vol. 50 ›› Issue (4) : 4142-4147. DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2019.04.024

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(AlCrTiZrNb)N/Si₃N₄纳米多层膜的微观结构和力学性能研究

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Study on microstructure and mechanical properties of (AlCrTiZrNb)N/Si₃N₄ nano-multilayer films

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2019-01-05	2019-04-30
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2019-04-30

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