低损耗掺杂BST薄膜的射频磁控溅射沉积及其阻抗特性研究

doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2019.04.021

功能材料 ›› 2019, Vol. 50 ›› Issue (4) : 4126-4129. DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2019.04.021

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低损耗掺杂BST薄膜的射频磁控溅射沉积及其阻抗特性研究

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Study on RF magnetron sputtering deposition and impedance characterization of doped BST thin films

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2018-12-10	2019-04-30
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2019-04-30

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