不同沉积速率下微晶硅薄膜的生长行为研究

doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2019.02.003

功能材料 ›› 2019, Vol. 50 ›› Issue (2) : 2012-2016. DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2019.02.003

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不同沉积速率下微晶硅薄膜的生长行为研究

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Study on growth action of microcrystalline silicon thin films at different deposition rates

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2018-07-21	2019-02-28
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2019-02-28

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