液相法在Si基底上沉积非晶碳膜

doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2019.01.027

功能材料 ›› 2019, Vol. 50 ›› Issue (1) : 1174-1177. DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2019.01.027

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液相法在Si基底上沉积非晶碳膜

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Fabrication of amorphous carbon films on Si substrate via liquid phase deposition method

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2018-08-31	2019-01-31
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2019-01-31

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