磁控溅射和能量过滤磁控溅射TiO<sub>2</sub>薄膜结构和光学性质的对比研究

doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2018.07.014

功能材料 ›› 2018, Vol. 49 ›› Issue (7) : 7088-7092. DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2018.07.014

磁控溅射和能量过滤磁控溅射TiO₂薄膜结构和光学性质的对比研究

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Comparative study on structure and optical properties of TiO₂ films by DC magnetron sputtering and energy filtering magnetron sputtering

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2017-12-02	2018-07-30
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2018-07-30

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