直流磁控溅射法制备PEN/Ti复合振膜

doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2018.05.029

功能材料 ›› 2018, Vol. 49 ›› Issue (5) : 5169-5173. DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2018.05.029

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直流磁控溅射法制备PEN/Ti复合振膜

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PEN/Ti composite diaphragm prepared by DC magnetron sputtering

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Received	Published
2017-10-28	2018-05-30
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2018-05-30

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