氩气压对磁控溅射制备CdZnTe薄膜形貌、结构和电学特性的影响

doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2018.04.023

功能材料 ›› 2018, Vol. 49 ›› Issue (4) : 4128-4133. DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2018.04.023

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Effects of Ar pressure on the morphology, structure and electrical properties of CdZnTe film deposited by magnetron sputtering

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2017-11-21	2018-04-30
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2018-04-30

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