Si含量对NbN/CrSiN纳米多层膜微观结构和力学性能的影响

doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2018.01.009

功能材料 ›› 2018, Vol. 49 ›› Issue (1) : 1044-1048. DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2018.01.009

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Si含量对NbN/CrSiN纳米多层膜微观结构和力学性能的影响

{{article.zuoZhe_CN}}

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Influence of Si content on microstructure and mechanical property of CrN/TiSiN nano-multilayered films

{{article.zuoZhe_EN}}

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{{article.zuoZheCn_L}}. {{article.title_cn}}. {{journal.qiKanMingCheng_CN}}. 2018, 49(1): 1044-1048 https://doi.org/10.3969/j.issn.1001-9731.2018.01.009

{{article.zuoZheEn_L}}. {{article.title_en}}. Journal of Functional Materials. 2018, 49(1): 1044-1048 https://doi.org/10.3969/j.issn.1001-9731.2018.01.009

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2017-06-21	2018-01-30
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2018-01-30

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{{custom_sec.title}}

{{custom_sec.title}}

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{{custom_fnGroup.title_cn}}

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