衬底温度对直流反应磁控溅射TiN电极薄膜显微结构及导电性能的影响

doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2017.08.036

功能材料 ›› 2017, Vol. 48 ›› Issue (8) : 8203-8207. DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2017.08.036

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Effect of substrates temperature on microstructure and conductivity of TiN electrode thin film prepared by DC reactive magnetron sputtering

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2016-12-07	2017-08-30
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2017-08-30

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