高温化学气相沉积法制备致密碳化钽涂层

doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2017.06.033

功能材料 ›› 2017, Vol. 48 ›› Issue (6) : 6183-6186. DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2017.06.033

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高温化学气相沉积法制备致密碳化钽涂层

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Preparation of high-density tantalum carbide coating by high-temperature chemical vapor deposition

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Received	Published
2016-06-10	2017-06-28
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2017-06-28

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