扩散阻挡层用WTi合金的制备及其表征

doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2016.增刊(Ⅱ).025

功能材料 ›› 2016, Vol. 47 ›› Issue (S2) : 125-129. DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2016.增刊(Ⅱ).025

工艺·技术

扩散阻挡层用WTi合金的制备及其表征

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Preparation and characterization of WTi alloy for diffusion barrier layer

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2016-04-08	2016-12-20
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2016-12-20

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