硅氮薄膜的摩擦性能与其表面能的相关性

doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2016.12.001

功能材料 ›› 2016, Vol. 47 ›› Issue (12) : 12001-12006. DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2016.12.001

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硅氮薄膜的摩擦性能与其表面能的相关性

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Study on the correlation between surface energy andtribological property of silicon-nitride films

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2016-04-03	2016-12-30
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2016-12-30

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