SiN<i><sub>x</sub></i>薄膜在纳米压痕下的变形和断裂行为

doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2016.10.044

功能材料 ›› 2016, Vol. 47 ›› Issue (10) : 10235-10238. DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2016.10.044

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SiN_x薄膜在纳米压痕下的变形和断裂行为

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Deformation and fracture behavior of SiN_x coating under nanoindentation test

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2016-02-01	2016-10-30
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2016-10-30

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